费勉仪器科技（上海）有限公司、 利用底层的科学原理、 为用户提供新技术、 新工艺、 新材料等领域的先进仪器设备。包括：工业MEB、 分子束外延系统、 裂解源、 等离子体源、 超高真空解理镀膜系统、 等离子源、 真空紫外光源、 低温等离子处理机等、 在国内外众多知名高校、 研究机构及工业客户、 得到了广泛应用和认可。、

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费 勉 仪 器 科 技 | 工 业 M E B | 工 业 钝 化 | 科 研 仪 器 | 等 离 子 源 系 列 仪 器 设 备 提 供 商 E N 0 2 1 6 5 2 5 3 2 0 6 首 页 产 品 中 心 科 研 仪 器 工 业 M B E 工 业 钝 化 等 离 子 配 套 产 品 关 于 费 勉 公 司 简 介 荣 誉 资 质 专 利 证 书 合 作 伙 伴 核 心 技 术 薄 膜 制 备 真 空 技 术 低 温 技 术 等 离 子 技 术 技 术 支 持 应 用 领 域 科 普 专 栏 软 件 支 持 实 操 讲 解 / F A Q 材 料 沉 积 表 新 闻 资 讯 展 会 资 讯 交 付 案 例 公 司 动 态 联 系 我 们 联 系 方 式 在 线 留 言 招 贤 纳 士 C o m p o u n d i n t e r f a c e t r e a t m e n t a n d p a s s i v a t i o n t e c h n o l o g y 化 合 物 界 面 处 理 和 钝 化 技 术 基 于 M B E 原 子 级 修 饰 能 力 的 新 型 钝 化 技 术 兼 容 原 子 氢 界 面 清 洗 & 真 空 解 理 镀 膜 优 异 的 单 晶 外 延 钝 化 层 质 量 查 看 更 多 > > C l o s e d l o o p l o w t e m p e r a t u r e s a m p l e h o l d e r 6 a x i s 闭 循 环 低 温 样 品 架 6 轴 最 高 可 达 6 自 由 度 R T 至 6 K ， 使 用 G M 机 制 冷 机 制 冷 ， 运 行 成 本 低 查 看 更 多 > > M B E 1 0 0 0 c l u s t e r 生 产 型 M B E 系 统 ， 经 济 高 效 产 量 高 实 时 监 控 生 长 状 态 满 足 S e m i S 2 要 求 查 看 更 多 > > 四 大 核 心 技 术 拥 有 强 大 研 发 团 队 ， 积 累 了 丰 富 的 技 术 经 验 ， 及 成 熟 产 品 线 O u r T e c h n o l o g y 薄 膜 制 备 完 善 各 种 蒸 发 技 术 的 开 发 和 产 业 化 ， 实 现 对 蒸 发 、 电 子 束 蒸 发 及 磁 控 蒸 发 的 消 化 ， 在 现 有 的 技 术 进 步 优 化 和 改 善 传 统 技 术 上 ， 提 供 全 周 期 表 的 解 决 方 案 ， 与 O L E D ， 芯 片 制 造 等 领 域 的 专 家 合 作 ， 实 现 大 容 积 工 业 化 镀 膜 设 备 的 产 业 化 。 查 看 更 多 > > 真 空 技 术 借 助 于 目 前 国 内 的 制 造 业 优 势 和 人 才 优 势 ， 通 过 标 准 真 空 产 品 和 定 制 化 系 统 两 个 渠 道 ， 提 高 再 国 内 外 市 场 占 有 率 ， 同 时 利 用 自 身 的 优 势 ， 服 务 国 家 重 大 科 学 项 目 和 产 业 结 构 转 型 ， 为 航 空 航 天 ， 材 料 研 究 ， 芯 片 制 造 等 提 供 基 础 支 撑 。 查 看 更 多 > > 低 温 技 术 基 于 在 基 础 研 究 领 域 积 累 的 技 术 优 势 ， 深 入 挖 掘 各 种 无 液 氦 电 制 冷 技 术 ， 实 现 对 现 有 液 氦 制 冷 技 术 的 替 代 ， 做 到 更 好 的 技 术 指 标 和 操 作 性 。 此 外 把 低 温 技 术 利 用 到 生 物 冷 冻 和 基 因 领 域 ， 试 制 一 些 低 温 存 储 和 传 输 样 机 ， 从 源 头 解 决 生 物 无 损 保 存 的 问 题 。 查 看 更 多 > > 等 离 子 技 术 提 高 等 离 子 的 发 生 效 率 和 功 率 ， 为 小 型 化 及 工 业 应 用 做 准 备 ； 紫 外 光 源 前 期 将 面 对 科 研 的 光 谱 和 质 谱 用 户 ， 后 期 将 瞄 准 光 刻 等 高 端 需 求 ， 离 子 源 将 作 为 工 业 化 用 途 ， 完 成 对 目 前 离 子 源 技 术 的 替 代 。 查 看 更 多 > > 产 品 中 心 费 勉 提 供 新 技 术 、 新 工 艺 及 新 材 料 等 领 域 的 整 体 解 决 方 案 P r o d u c t s H O T 真 空 技 术 直 线 互 联 系 统 产 品 概 述 ： 直 线 互 联 系 统 与 圆 型 传 样 系 统 互 为 补 充 ， 均 可 实 现 样 品 在 超 高 真 空 的 环 境 下 在 不 同 系 统 间 的 传 递 ， 但 是 侧 重 点 略 有 不 同 。 圆 形 传 样 系 统 相 对 较 为 紧 凑 ， 适 合 于 小 型 实 验 室 级 别 的 互 联 搭 建 ； 直 线 互 联 系 统 单 次 传 递 的 样 品 尺 寸 和 数 量 更 多 ， 适 合 于 较 大 型 的 互 联 搭 建 。 同 时 圆 形 传 样 系 统 和 直 线 传 样 系 统 也 能 实 现 互 相 搭 配 ， 例 如 圆 形 搭 配 直 线 ， 圆 形 搭 配 圆 形 ， 或 者 直 线 再 扩 展 。 费 勉 仪 器 已 经 有 丰 富 的 设 计 和 搭 建 经 验 和 案 例 供 用 户 参 考 。 查 看 更 多 > > H O T 薄 膜 制 备 M B E 3 0 0 产 品 概 述 ： 真 空 控 制 及 保 护 系 统 ， 集 成 真 空 规 信 号 、 分 子 泵 控 制 、 蒸 发 源 保 护 、 烘 烤 保 护 等 功 能 。 包 含 蒸 发 源 、 样 品 架 的 温 度 控 制 软 件 ， 包 含 挡 板 控 制 软 件 ， 热 风 式 烘 烤 模 块 ， 烘 烤 温 度 均 匀 ， 拆 装 方 便 。 查 看 更 多 > > H O T 等 离 子 技 术 高 束 流 射 频 等 离 子 体 源 产 品 概 述 ： F E R M I R F P S 2 0 0 是 费 勉 仪 器 公 司 最 新 生 产 的 一 种 高 效 射 频 等 离 子 体 源 ， 通 过 线 圈 式 结 构 ， 能 在 真 空 腔 体 内 激 发 产 生 等 离 子 体 ， 激 励 气 体 种 类 包 括 但 不 限 于 H 2 、 N 2 、 O 2 、 稀 有 气 体 等 ， 具 有 更 好 的 稳 定 性 以 及 更 精 确 的 操 控 性 ， 广 泛 应 用 于 分 子 束 外 延 系 统 （ M B E ） 中 氮 化 物 生 长 、 氮 原 子 注 入 和 掺 杂 、 氧 化 物 生 长 、 氧 原 子 的 注 入 和 掺 杂 、 氢 化 物 生 长 以 及 氢 原 子 表 面 清 洗 等 。 查 看 更 多 > > H O T 低 温 技 术 闭 循 环 低 温 样 品 架 6 轴 产 品 概 述 ： 费 勉 仪 器 提 供 的 6 轴 闭 循 环 低 温 样 品 架 可 以 实 现 样 品 位 置 以 及 姿 态 的 精 确 控 制 ， 它 主 要 由 低 温 样 品 杆 、 温 度 控 制 系 统 、 X Y Z R 1 位 移 台 、 马 达 控 制 系 统 四 部 分 组 成 。 整 个 样 品 架 及 位 移 台 均 使 用 无 磁 材 料 ， 可 以 在 超 高 真 空 下 使 用 。 样 品 台 可 以 在 X 、 Y 、 Z 方 向 大 范 围 移 动 ， 并 可 实 现 绕 三 个 轴 的 旋 转 运 动 （ 旋 转 角 R 1 、 俯 仰 角 R 2 、 面 内 旋 转 角 R 3 ） 。 查 看 更 多 > > H O T 低 温 技 术 桌 面 减 震 型 C r y o 3 0 0 产 品 概 述 ： 桌 面 减 震 型 低 温 光 学 恒 温 器 ， 采 用 G M 制 冷 机 做 冷 源 ， 无 液 氦 消 耗 。 多 级 隔 振 设 计 使 样 品 台 震 动 小 于 2 0 0 n m 。 样 品 台 最 低 温 度 达 3 . 6 K 。 查 看 更 多 > > 费 勉 仪 器 科 技 （ 上 海 ） 有 限 公 司 创 立 于 2 0 1 2 年 ， 总 部 位 于 上 海 ， 南 京 设 有 子 公 司 费 勉 仪 器 先 进 的 高 端 仪 器 装 备 服 务 商 A B O U T U S 公 司 致 力 于 利 用 底 层 的 科 学 原 理 ， 为 全 球 学 术 及 研 究 机 构 、 工 业 客 户 等 ， 提 供 新 技 术 、 新 工 艺 及 新 材 料 等 领 域 的 整 体 解 决 方 案 。 在 1 0 余 年 的 发 展 道 路 上 ， 费 勉 仪 器 始 终 坚 持 自 主 研 发 + 技 术 创 新 ， 在 超 高 真 空 、 低 温 、 薄 膜 制 备 及 等 离 子 四 个 技 术 领 域 ， 都 有 丰 富 的 技 术 积 累 和 成 熟 产 品 线 ， 代 表 性 产 品 已 在 国 内 外 众 多 知 名 高 校 、 研 究 机 构 及 工 业 客 户 中 ， 得 到 了 广 泛 应 用 和 认 可 。 费 勉 仪 器 拥 有 健 全 、 稳 定 的 技 术 团 队 和 管 理 团 队 ， 在 学 术 界 及 工 业 领 域 都 有 深 入 而 广 泛 的 合 作 。 公 司 已 获 得 上 海 市 高 新 技 术 企 业 、 上 海 市 专 精 特 新 企 业 、 上 海 市 科 技 小 巨 人 培 育 企 业 等 多 项 荣 誉 。 2 0 1 2 年 公 司 成 立 于 3 0 % 研 发 人 员 占 比 2 0 0 0 0 + m ² 场 地 规 模 ( 独 立 的 生 产 及 办 公 空 间 ) 2 1 5 项 专 利 与 认 证 持 续 更 新 中 上 海 总 部 南 京 子 公 司 费 勉 专 利 查 看 更 多 > > 新 闻 资 讯 实 时 了 解 费 勉 仪 器 的 最 新 动 态 i n f o r m a t i o n 公 司 动 态 2 0 2 5 . 0 5 . 2 7 6 1 8 狂 欢 | 助 力 科 研 创 新 ， 科 学 仪 器 限 时 年 中 大 促 ！ 查 看 更 多 > > 公 司 动 态 2 0 2 5 . 0 5 . 1 6 费 勉 资 讯 | 磁 控 溅 射 系 统 （ S p u t t e r i n g 1 0 0 ） 成 功 交 付 重 庆 某 大 学 查 看 更 多 > > 公 司 动 态 2 0 2 5 . 0 5 . 1 4 重 磅 喜 讯 | 费 勉 仪 器 技 术 中 心 荣 获 “ 上 海 市 模 范 集 体 ” 称 号 ！ 查 看 更 多 > > 展 会 资 讯 2 0 2 5 . 0 4 . 3 0 三 展 来 袭 | 表 界 面 科 学 会 议 & 物 理 春 季 学 术 会 & 红 外 技 术 大 会 查 看 更 多 > > 展 会 资 讯 2 0 2 5 . 0 4 . 2 1 展 会 邀 约 | 第 三 届 九 峰 山 论 坛 暨 化 合 物 半 导 体 产 业 博 览 会 核 心 装 备 的 技 术 进 步 与 创 新 ， 是 推 动 我 国 半 导 体 产 业 发 展 的 重 要 底 座 。 今 年 的 九 峰 山 论 坛 将 延 续 往 年 的 多 元 化 架 构 ， 以 1 场 主 论 坛 、 1 1 场 平 行 论 坛 的 强 大 阵 容 ， 携 手 全 球 相 关 领 域 权 威 科 研 机 构 、 领 军 企 业 及 行 业 专 家 代 表 ， 共 同 探 索 化 合 物 半 导 体 产 业 未 来 发 展 方 向 。 化 合 物 半 导 体 核 心 装 备 平 行 论 坛 将 围 绕 化 合 物 半 导 体 制 造 过 程 中 的 关 键 装 备 ， 探 讨 其 最 新 技 术 进 展 、 应 用 挑 战 及 未 来 发 展 趋 势 。 查 看 更 多 > > 展 会 资 讯 2 0 2 5 . 0 4 . 1 7 展 会 邀 约 | 极 端 条 件 材 料 与 器 件 2 0 2 5 年 学 术 会 议 会 议 邀 请 了 诸 多 国 内 专 家 学 者 参 会 ， 围 绕 极 端 条 件 下 材 料 与 器 件 的 物 理 效 应 、 规 律 演 变 等 开 展 充 分 交 流 ， 促 进 对 极 端 条 件 下 材 料 与 器 件 的 认 识 ， 提 升 我 国 材 料 与 器 件 研 制 水 平 。 查 看 更 多 > > 产 品 中 心 科 研 仪 器 工 业 M B E 工 业 钝 化 等 离 子 配 套 产 品 关 于 费 勉 公 司 简 介 荣 誉 资 质 专 利 证 书 合 作 伙 伴 核 心 技 术 薄 膜 制 备 真 空 技 术 低 温 技 术 等 离 子 技 术 技 术 支 持 应 用 领 域 科 普 专 栏 软 件 支 持 实 操 讲 解 / F A Q 材 料 沉 积 表 新 闻 资 讯 展 会 资 讯 交 付 案 例 公 司 动 态 联 系 我 们 联 系 方 式 在 线 留 言 招 贤 纳 士 上 海 总 部 + 8 6 2 1 6 5 2 5 3 2 0 6 w w w . f e r m i . c o m 上 海 市 宝 山 区 富 联 二 路 5 5 8 号 （ 近 富 联 路 ） N o . 5 5 8 F u l i a n E r R o a d , S h a n g h a i , 2 0 1 9 0 6 , C h i n a i n f o @ f e r m i . c o m 扫 码 联 系 我 们 扫 码 联 系 我 们 C o p y r i g h t 版 权 所 有 © ： 费 勉 仪 器 科 技 （ 上 海 ） 有 限 公 司 沪 I C P 备 1 9 0 0 1 8 7 1 号 沪 公 网 安 备 3 1 0 1 1 3 0 2 0 0 5 9 7 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